應(yīng)用介紹

【行業(yè)】電子

【設(shè)備】半導(dǎo)體晶圓清洗設(shè)備

【用途】用于檢測(cè)清洗設(shè)備內(nèi)部的結(jié)露和周圍的漏液

應(yīng)用場(chǎng)景

檢測(cè)半導(dǎo)體晶圓清洗設(shè)備內(nèi)部液體化學(xué)存儲(chǔ)罐的管接頭處的漏液。

解決課題

1、客戶期待在晶圓清洗設(shè)備內(nèi)的液體化學(xué)存儲(chǔ)罐的管接頭處安裝高靈敏度且抗腐蝕性強(qiáng)的泄漏檢測(cè)傳感器，以便在液體泄漏的初期就能及時(shí)發(fā)現(xiàn)并報(bào)警，避免因強(qiáng)酸、強(qiáng)堿液體泄漏對(duì)設(shè)備產(chǎn)生腐蝕。

2、客戶此前使用人工巡檢的方法檢測(cè)漏液，造成人工成本的上升且無(wú)法做到第一時(shí)間發(fā)現(xiàn)漏液。

價(jià)值提案

核心產(chǎn)品：漏液檢測(cè)器 K7L

■漏液檢測(cè)帶有高度的抗化學(xué)品腐蝕能力。電極采用SUS316，絕緣薄層采用聚乙烯，提高了耐酸堿性。

■采用交流方式向檢測(cè)帶供給信號(hào)，安全不觸電。

■將檢測(cè)帶纏繞在管接頭處等有可能漏液的部位上檢測(cè)漏液，無(wú)需通過(guò)人工巡檢。

■從50MΩ電阻液體到普通水都能穩(wěn)定檢測(cè)。可設(shè)定4級(jí)檢測(cè)范圍，能夠根據(jù)液體特性檢測(cè)。

相關(guān)產(chǎn)品

漏液檢測(cè)器

https://www.fa.omron.com.cn/products/family/564/

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