某半導體電子貨架現場

（1）每個晶圓盒的全生命周期數據（如蝕刻周期、清洗次數）需要通過RFID標簽實時記錄。

（2）當FOUP被錯誤放置（如CMP后晶圓進入沉積區），系統立即觸發聲光報警，并鎖定貨架操作權限。

晨控提供的解決方案：

（1）半導體RFID讀寫器安裝在電子貨架上，通過無線射頻識別技術，實時讀取FOUP晶圓載具的標簽信息，精確記錄其存放拿取時間、存放位置、批次數據，實現自動化追蹤與管理，有效提升信息檢索效率和降低污染風險，確保晶圓生產與管理的高效與安全。

（2）在晶圓盒上安裝RFID標簽，記錄生產過程和檢測結果。一旦出現質量問題，可快速追溯到具體批次和生產環節，為質量改進提供依據。通過RFID系統，半導體企業能夠建立完整的晶圓質量追溯體系，從原材料采購、生產加工到成品出廠，每一個環節的信息都被準確記錄在標簽中。當出現質量問題時，企業可以迅速定位問題源頭，采取相應的措施進行整改，有效降低質量風險，提高產品質量和客戶滿意度。

（3）當FOUP放置在貨架上時，半導體RFID讀寫器立即捕獲其RFID標簽，更新系統位置和時間戳數據。占用槽位的LED指示燈增強視覺引導。每個晶圓批次的歷史數據（如蝕刻周期、清洗次數）實現全生命周期追溯，對良率分析和質量控制至關重要。系統根據RFID收集的數據（如緊急批次標記）優先處理FOUP。如果FOUP被放置在錯誤區域（如CMP后晶圓進入沉積區域），系統觸發不匹配警報。降低或消除人工掃描識別，減少人員流動所造成的顆粒物污染。

應用產品 晨控CK-S610系列產品特點： l高集成度：集天線，放?器，控制器于?體的3合1型低頻讀寫器。 l豐富的接口和協議：RS232、RS485，支持工業協議Modbus RTU

l高防護等級：防護等級達到IP67，具有防水、防腐蝕、防干擾等特點，能夠適應惡劣的工業生產環境。 l標準協議：讀卡器工作頻率 134.2kHz，HDX 工作模式，支持ISO11784/85射頻標準標簽。